六氟乙烷

　　一、產(chǎn)品介紹

　　中文名稱(chēng)：六氟乙烷           英文名稱(chēng)：hexafluoroethane
　　化學(xué)式：C2F6                  CAS號：76-16-4
　　熔點(diǎn)（℃）：-101               沸點(diǎn)（℃）：-78
　　亦是烴類(lèi)化合物乙烷所對應的全氟化合物，是一種不易燃的氣體，難溶于水，微溶于醇。

　　二、主要用途

　　可用于一種具多功能的蝕刻技術(shù)，常見(jiàn)于半導體之生產(chǎn)。它可用于金屬硅化物及金屬氧化物并相對其金屬基質(zhì)的選擇性蝕刻。叧外，它亦用于蝕刻硅上的二氧化硅。
　　作制冷劑方面：六氟乙烷可連同三氟甲烷一起用于制冷劑R508A（六氟乙烷占61%）及R508B（六氟乙烷占54%）

　　三、運輸信息

　　危險貨物編號：22034
　　UN編號：2193
　　包裝類(lèi)別：O53
　　包裝方法： 鋼質(zhì)氣瓶。
　　運輸注意事項： 采用剛瓶運輸時(shí)必須戴好鋼瓶上的安全帽。鋼瓶一般平放，并應將瓶口朝同一方向，不可交叉；高度不得超過(guò)車(chē)輛的防護欄板，并用三角木墊卡牢，防止滾動(dòng)。嚴禁與氧化劑等混裝混運。夏季應早晚運輸，防止日光曝曬。鐵路運輸時(shí)要禁止溜放。

　　四、泄漏處理

　　應急處理： 迅速撤離泄漏污染區人員至上風(fēng)處，并進(jìn)行隔離，嚴格限制出入。建議應急處理人員戴自給正壓式呼吸器。盡可能切斷泄漏源。合理通風(fēng)，加速擴散。如有可能，將漏氣的容器移至空曠處，注意通風(fēng)。漏氣容器要妥善處理，修復、檢驗后再用。

　　五、儲存注意

　　儲存于陰涼、通風(fēng)的庫房。遠離火種、熱源。應與氧化劑分開(kāi)存放，切忌混儲。儲區應備有泄漏應急處理設備。

　　產(chǎn)品指標：

特來(lái)化工科技產(chǎn)品質(zhì)量指標
項目名稱(chēng)	質(zhì)量指標
六氟乙烷（C2F6).ppmv	≥99.999%
氧氣（O2).ppmv	≤2.0
氮氣（N2）.ppmv	≤8.0
二氧化碳(CO2).ppmv	≤0.5
一氧化碳(CO).ppmv	≤0.5
水份(H2O).ppmv	≤0.1
酸度（以HF計）.ppmv	≤0.1
其它有機物.ppmv	≤1.5

　　包裝規格：

鋼瓶包裝	容積	凈重
	44L	43kg
鋼瓶閥門(mén)	CGA660/DISS716