六氟化鎢

六氟化鎢

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所屬分類(lèi):氟化物產(chǎn)品

發(fā)布日期:2021-06-24 14:57:06

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詳情

  一、標識

  中文名:六氟化鎢          英文名:Tungsten hexafluoride
  分子式:WF6                分子量:297.8
  CAS號:7783-82-6          危險性類(lèi)別:第2.3類(lèi)有毒氣體

  二、理化性質(zhì)

  熔點(diǎn):2.3      沸點(diǎn):17.5      相對密度(水=1):3.44

  三、主要用途

  在微電子工業(yè)和材料加工改性中,六氟化鎢用于離子注入或化學(xué)氣相沉積硅化鎢或鎢膜,用以制作低電阻、離熔點(diǎn)的電路互連線(xiàn)和柵極,還有抗X射線(xiàn)或γ射線(xiàn)的保護罩,高效太陽(yáng)能吸收器。

  三、運輸方式

  包裝類(lèi)別:Ⅱ                   包裝標志:6

  四、儲運注意事項

  儲存于陰涼、干燥、通風(fēng)良好的不易燃庫房。遠離火種、熱源。防止陽(yáng)光直射。防止受潮。與其他物品分開(kāi)存放。平時(shí)要注意檢查容器是否有泄漏現象。搬運時(shí)戴好鋼瓶安全帽和防震橡皮圈,防止鋼瓶碰撞、損壞。

  五、泄漏處理

  疏散泄漏污染區人員至安全區,禁止無(wú)關(guān)人員進(jìn)入污染區,應急處理人員戴正壓自給式呼吸器,穿廠(chǎng)商特別的化學(xué)防護服(完全隔離)。在確保安全情況下堵漏。噴水霧減慢揮發(fā)(或擴散),但不要對泄漏物或泄漏點(diǎn)直接噴水。勿使水進(jìn)入包裝容器內,抽排(室內)或強力通風(fēng)(室外)。漏氣容器不能再用,且要經(jīng)過(guò)技術(shù)處理以清除可能剩下的氣體。
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